其实国内在玩激光倍频技术上是世界领先的，很早就实现了激光六倍频技术，华兴科技集团公司利用这种激光倍频技术在实验室里🍪面很早就研制出了波长只有6纳米的极紫外光光源。
只不过这种极紫外光光源破坏力实在是很大，🌮🏨瑞星科技公司公司也不可能直接使用这种光源，只能是等到三阳光学公司研制出可以长时间经受住极🅫紫外光光源照射破坏的镀膜材料。
这种镀膜材料要用到零膨胀材料，并且还不能吸收紫外光🟂🚖光源能量，其难度之🔃大简直众多的科学家和🜎🀽🂑工程师头皮发麻。
不过杨杰在这方🅊🄻🂱面那是真的舍得砸钱的，而且三阳光学公司这些年也是一直在为瑞星科技公司公司提供光刻机的镜头组，同🐳🜫时也为不少的大科学装置提供各种高精尖的光学设备，技术研发上就从来没有停过，所以现在已经能提供能够长时间经受🟗🝓住波长在25纳米极紫外光光源照射的反射镜镜头装置了。
所以现在瑞星科🅊🄻🂱技公司公司选用的是四倍频激🌮🏨光技术🚞🔡的氮化镓半导体固态激光光光源。
如果在技术层面上来说的话🗍🚔瑞星🝲🏆🗶科技公司公司在极紫外光刻机水平跟阿斯麦差不多是处于同一水平的。
不过杨杰是想率先抢在阿斯麦之前将极紫外光刻机实现量产，所以在跟胡焕志谈到华兴科技集团公司还要加🛀🙒码技🁚🆔🏕🁚🆔🏕术研发上首先就提到了极紫外光刻机研发进度的事情。