带着这种疑问，万宁古陪着许振鸣🌈☰来🈢到光刻机主机系统检测调试工作站的旁边，两眼一直盯着工作站👹的监视器屏幕。
时间不久，他担心的事情出现了……
当这台光刻机主机系🄝⚌统完成一次模拟光刻执行程序以后，监💃视🞷😯器显示的各项数据都很正常，精度误差都在许可的范围之内。
“报告许董，主⚛机系统重复精度小于0.00🖰1毫米，数据正常。”
“报告万总，主机系统的震动量误差都在量级以内，不会对光刻👯程🜳🆒序造成影响。”
“报告万总，主机系统🖹的功率输出一直都非常稳定，模拟光刻过程中没有出现波动现象。”⛼
“这💨🔗台设备的🍀电磁杂波强度🏭🝘都在量级要求范围之内，没有出现异常情况。”
“……”
技♹术💨🔗员们非常专注，每出现一个数据就会把情况如实汇报。
通过他们一番比⚛对下来，这台光刻机主体系统的数🛨据和原始测试数据没发生变化。这事有点蹊跷了！
另♹一边，郝宁教授的团队已🏭🝘经完成了激光光源的能量测🐟试流程，一切也正常。
不但如此，他们已经完成了第一遍激光光源的光谱测试，激光在空气中的散⛳光度误差很小🂨👐，⛼在正常范围之内。
由此看来，米国佬的这台激光光源系统没有质量问题☿🅌🅋，性能非常稳定。☼🄳🁤
看到这一幕，梁宋松也有点傻眼了🌈☰，“两套系统单体测试都很正常，组装总成以后出现质量缺陷。这是什么鬼情况？”
“这…这事有点邪门啊！”万宁古此时也有点懵，两☿🅌🅋手一摊💃，看着许振鸣苦笑，并且直摇头。
今天中午饭的时候，他得到梁宋松的提醒，灵感咋现，其实已经初步判断出这台光刻机的故障所在。按照他的设想，米国产的激光光路系统肯定没问题，🙃🙃国产的光刻机主体系统肯定有问题。
但现在一番检测下来，这两🏭🝘台🞯🗪🞝设备的情况都很正常，问题到底在哪🜳🆒里？
“两台设备单体都正常🖹，组装在一起🈢就不正常。在组装的时候，我们做过哪些改动程序？”